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卡西雅玛MU180X干泵维修鸿鑫真空 MU180X:抽速3000L/min，极限压力1.5pa

中国台湾汉钟PS160系列螺杆泵维修PS系列螺杆真空泵 定螺距螺杆转子特点： 1、结构简单，故障率低，成本较低，易维修 2、高压段功耗相对低，适用于高负载应用场合 3、排气路径短，减少反应物沉积 适用一般真空镀膜、烤箱、热处理、太阳能产业、半导体面板业制程 PS系列螺杆真空泵型号：PS80、PS160、PS180、PS902、PS1302、PS1802 PD系列螺杆真空泵 高压段抽速快 能耗可

卡西雅玛MU100X干泵维修MU-X系列 MU100X:抽速1660L/min，极限压力1.5pa MU180X:抽速3000L/min，极限压力1.5pa MU300X:抽速5000L/min，极限压力0.5pa MU600X:抽速10000L/min，极限压力0.5pa MU1218X:抽速20000L/min，极限压力0.5pa MU20N18X:抽速30000L/min，极限压力0.5pa

Agilent安捷伦IDP-3干式涡旋泵维修IDP-3 单涡轮密封真空干泵 抽速50 Hz： 50 L/min （3m3/h） 极限压力 3.3*10-1 mbar （2.5*10-1 Torr） 大入口压力 1.0 个大气压 （0 psig） 标称电压下大出口压力 1.4 个大气压 （6.5 psig）

iH1800爱德华干式泵维修Edwards 高级半导体真空泵已经过现场应用证明，可以按照高工作标准运行。通过延长使用寿命、提高运行时间并提高生产率，同时大程度地减小占地面积、降低运行成本，实现了高的可靠性和性能。